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钛作为一种常用的PVD镀膜靶材，其氮化物、碳氮化物和氧化物涂层广泛应用于工业和装饰领域。
钛氮化物（TiN）
颜色：金黄色
形成机理：在PVD过程中，钛靶材与氮气反应生成TiN。氮气在溅射过程中与钛原子结合，形成具有高硬度和耐磨损性的氮化钛薄膜。这种涂层的金黄色泽主要是由于TiN晶体结构中的电子带结构对光的选择性反射和吸收。
应用：TiN涂层常用于切削工具、模具和装饰性涂层。其金黄色不仅提升了美观度，还增加了材料的耐磨性和抗腐蚀性。
钛碳氮化物（TiCN）
颜色：玫瑰金
形成机理：通过在氮气和甲烷（或乙炔）的混合气氛中溅射钛靶材，形成钛碳氮化物（TiCN）涂层。TiCN的颜色主要由碳含量决定，增加碳含量会使涂层颜色从金黄色转变为玫瑰金或红色。
应用：TiCN涂层因其硬度和抗磨损性能优于TiN，广泛应用于高负荷切削工具和耐磨部件。
钛氧化物（TiO₂）
颜色：不同厚度产生的颜色变化（蓝色、紫色等）
形成机理：在氧气气氛中进行PVD镀膜，形成钛氧化物（TiO₂）涂层。TiO₂的颜色变化主要受薄膜厚度和光干涉效应的影响。薄膜厚度越大，干涉效应越明显，颜色从蓝色到紫色不等。
应用：TiO₂涂层常用于光学镀膜和装饰性涂层，提供抗反射和增强美观的功能。
2. 锆靶材
锆作为高硬度和高耐腐蚀性的材料，其氮化物、碳氮化物和氧化物涂层在工业和装饰应用中同样重要。
